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半导体厂含砷废水处理案例

无锡某光电器件企业的低浓硫酸浓度含砷污废水 治理 顶目(化合物对换厚度除砷新工艺) 一、工作蓝本 扬州某半导体餐饮行业的企业公司细心砷化镓晶片分割、蚀刻与研磨设备的生产流程,的生产流程中所产生低有机废气浓度含砷喷洗生活污水,日处里量 120m³(5m³/h)。城市污水水质监测:总砷 0.4-0.6mg/L(平均值 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、悬浮按钮物 50-80mg/L、含少量氟阳离子与磷酸二氢钠。餐饮行业废气准则规定(GB 39731-2020)总砷最大限度 0.5mg/L,的企业公司内控准则规定≤0.01mg/L,传统文化化学沉积法有水出上下波动大、无法固定不合格,且厌氧颗粒生活污水产品的生产数量高,需研发高可靠性强,精密度、低厌氧颗粒生活污水的处里流程。 二、工艺流程选用与设计 经小试价格对比生物沉淀物、物理离心分离、亚铁阳离子调换等流程设计,后面运用机械化过滤清洁 + 亲水性炭物理离心分离 + Tulsimer A-62MP 独特的亚铁阳离子调换树酯女子组合流程设计,基本点特点为办理高精准高、进行可靠、生活污水量很少、定时化程高。 机械制造滤水系统单元测试:主要包括石英石砂滤水系统器,洗去废河中浮悬物、固体顆粒及要素大脂溶性可挥发物,入水经济压力 0.2-0.3MPa,滤水系统流动速度 8m/h,挪作他用比表面积≥20μm,杜绝其它杂物堵住以后硅胶粘合剂,大大减少硅胶粘合剂生态破坏速度。 灵灵渗透性炭物理吸附物纤维吸咐第一单元:配用柱状体椰壳灵灵渗透性炭物理吸附物纤维(碘值≥1000mg/g),吸咐池中进样器有机质物、余氯及地方砷的络合基本特征,进一个步骤净化系统水环境,保护措施阴离子交互环氧树脂,吸咐交往时间段 30min,灵灵渗透性炭物理吸附物纤维添充量 1.2m³,每 3 月可再生一回。 阴阳阴阳铁离子对换单园:本质为 Tulsimer A-62MP 大孔强酸性阴阴阳阴阳铁离子对换树酯胶,该树酯胶对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具备高采用性降解力,不用正规阴阴阳阴阳铁离子(Cl⁻、SO₄²⁻)干预。树酯胶插入量 2.5m³,对换柱厚度 1.2m、高强度 2.4m,水利逗留时刻 15min,运作风速 5m/h;树酯胶达到饱和状态后用 4% NaOH 悬浊液净化,净化液消耗量为树酯胶体积计算的 2 倍,净化时刻 4h,净化后用白水清洗道路至碱式盐,嵌套循环食用,净化期限约 7 天。 三、祥细运动注意事项 污水分类整理:工作含砷污水经热力管网汇到调高池,均质均量,调高池有郊体积 50m³,驻守事件 10h,池内设备芬顿反应绞拌保护装置,必免透明桌面物析出,稳定可靠手表进水环境质量水流量。 自动化机械进行脱水:调高池废水处理方法经泵不断提升至石英砂砂进行脱水器,避开自动隐藏物后,出水出水自动隐藏物≤5mg/L,水自进到抗逆性炭粘附罐。 活力氧炭吸附性:污废水 与活力氧炭能够充分接触的面积,去掉有机化学物与其它杂物后,水流进来阴阳离子调换柱,采取的深度除砷。 阳正离子交互除砷:生活污水遵循原则经过环氧树酯层,砷酸根、亚砷酸根与环氧树酯上 Cl⁻发生交互发应,砷阳正离子被环氧树酯溶解,水流总砷≤0.01mg/L,及格后造纸废水处理至产量制作工艺或直接排放。 光敏硅橡胶复苏:当出液砷氧浓度>0.008mg/L 时,重新启动复苏步骤:先反洗(纯净水自下而上消毒光敏硅橡胶层,消除面上杂物,反洗气速 10m/h,准确的时间 15min)→复苏(4% NaOH 水溶液至上而下经过光敏硅橡胶层,洗掉活性炭吸附的砷化合物,复苏气速 2m/h)→正洗(纯净水至上而下消毒光敏硅橡胶,消除残余复苏液,正洗气速 5m/h,准确的时间 30min)→备品,复苏电镀废水采集后集中在加工处理,以防二级的污染。 四、运作治疗效果与数据信息进行分析 该项目接连开机运行 12 个月左右,杜六房加盟总部的统计指标安全不合格,基本点数据表格内容如下: 漏电总砷:0.4-0.6mg/L(月均 0.5mg/L); 出水出水总砷:0.003-0.008mg/L(年均 0.005mg/L),洗去率≥99%; 出水量 pH:6.8-7.2,不符合回收利用条件; 树酯再造寿命:7±1 天,再造液砷酸度约 15-20mg/L,再造电镀废水经化学工业乳浊液处理后及格废气排放; 生活污水处理生产量:仅为传统艺术化学悠长岁月中法的 5%,幅度降低生活污水处理预防代价。 五、投资成本与效果分析一下 投入资金利润:总投入资金 180 万块,但其中生产设备费 120 万块(过虑罐、吸罐、阴阳离子互相交换柱、泵、自动化系統等)、的安装费 30 万块、调试程序还有其他成本 30 万块。 实用成本投入:约 2.8 元 /m³,包含硅胶粘合剂衰减(0.5 元 /m³,硅胶粘合剂实用使用期限 3-5 年)、化学剂费(0.8 元 /m³,NaOH、酸洗等)、水电费(0.6 元 /m³)、人工费及系统维护费(0.9 元 /m³)。 经济发展:水流固定能够满足内控标准规定,防范节能减排不合格安全风险;治理 后生产废水回收处理利用率达 80%,年节约用电日常自来水花销约 40 千元;生活污水减药 95%,年变少生活污水应急处置花销约 25 千元,全方位的年净报酬率约 60 千元,资金回收处理期 3 年。 六、典型案例归纳总结 本项目流程重视半导体芯片低密度含砷焦化废污水外理 “低密度、高必须必须、水的硬度僵化” 优点和缺点,用于阴离子交易搭档施工工序,胜利解决外理传统性施工工序冒水量冲击、淤泥外理量大的难题。施工工序自主化地步高,操作步骤简单方便,开机运行稳固,除砷治疗效果优等,冒水量总砷稳固≤0.01mg/L,一同变现焦化废污水外理造纸废污水外理与淤泥外理减少,颇具生态整体与经济能力整体,为自动化行业领域低密度含砷焦化废污水外理层次外理给出可复刻的水平细则。

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