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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

济南某半导体行业集成电路芯片生产加工我们,晶圆生产加工阶段中有含硅、氟的特别生产生产废水,设汁治疗人数1200吨/日。生产生产废水组成繁多,含带纳米级级硅粒状及氢氧化钠,传统型治疗最简单的方法无从达到。 废水处理方法成分表及种类 最主要的污染源物 :橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇 从何而来程序 :晶圆刻蚀污水(45%)、CMP电学机戒磨光污水(40%)、装备清洗道路水(15%) 治疗工艺技术的流程 研发进行"药剂学沉淀出的+防化膜分离法"技木路经: 钙盐沉淀物 :添加氯化钙除去氟阳离子(转化成CaF2放置) 斜管沉淀池不起作用 :pp斜管沉淀池剂实行电解质溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm直径膜公款私存微细粉末 反渗入控制系统 :脱盐率>98%,回笼率75% 蒸馏成果 :浓水段体现氟化物零尾气排放标准 终结目的 氟化物溶度:<8mg/L(最低发达国家二级准则10mg/L) 硅含量:<5mg/L 水教育资源使用率:70%用来加热塔保湿补水 垃圾减量化:蒸馏食物残渣量较传统型工序缩减60%

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