济南某半导体行业集成电路芯片生产加工我们,晶圆生产加工阶段中有含硅、氟的特别生产生产废水,设汁治疗人数1200吨/日。生产生产废水组成繁多,含带纳米级级硅粒状及氢氧化钠,传统型治疗最简单的方法无从达到。
废水处理方法成分表及种类
最主要的污染源物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来程序
:晶圆刻蚀污水(45%)、CMP电学机戒磨光污水(40%)、装备清洗道路水(15%)
治疗工艺技术的流程
研发进行"药剂学沉淀出的+防化膜分离法"技木路经:
钙盐沉淀物
:添加氯化钙除去氟阳离子(转化成CaF2放置)
斜管沉淀池不起作用
:pp斜管沉淀池剂实行电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜公款私存微细粉末
反渗入控制系统
:脱盐率>98%,回笼率75%
蒸馏成果
:浓水段体现氟化物零尾气排放标准
终结目的
氟化物溶度:<8mg/L(最低发达国家二级准则10mg/L)
硅含量:<5mg/L
水教育资源使用率:70%用来加热塔保湿补水
垃圾减量化:蒸馏食物残渣量较传统型工序缩减60%