某半导体行业解决器研制厂在晶圆加工生产环节中,操作硅烷做硅概念生长发育,排放洗衣机清洗塔形成高溶液浓度含硅废液。废液兼备pH振幅大(2-11)、硅含铁高的特殊性,过去解决策略易出显硅垢堵塞了的问题。
工业废水成份及主要来源
废水处理工艺核心化学成分为:
消融性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢硫化钠
:洗滌塔强酸强碱洗滌液留下
粒状硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:成分杂质残渣进入
解决方法具体步骤
企业创新进行"两极与+膜筛选+蒸发器晶粒"艺:
三级中合
:用CaO调结pH至4-5,生产硅酸钙乳浊液,硅消除率60%。
二次元结合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进步发展剩下的硅,并接用镁剂除砷。
超滤膜体统
:0.02μm卫浴陶瓷膜净化nm级硅粉末,通量平稳在80LMH。
MVR多效空调蒸发器
:浓缩咖啡高盐焦化废水,凝结出Na₂SO₄副软件,水循环率超90%。
从而视觉效果
总硅从1500mg/L下降5mg/L以内
砷含铁从0.8mg/L减至0.01mg/L
系统性无积灰使用低于2年
今年回报氢氧化钾钠多晶体约800吨