该厂为8屏幕尺寸晶圆出产线服务设施的超纯净水整体，一整天造成含硅生活污水150吨。生活污水里虽无高价属，但硅含量高易积灰，且内阻率需做到18MΩ·cm就可以中水回用。增加了治疗流程无非实现新发布的《电子技术化工水污染源物尾气进行排放规则》（GB39731-2020）有点尾气进行排放卫生防护距离。 化工废水营养成分亮点 基本的空气污染物 ：固体硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒级0.1-1μm） 比较特殊要 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 水体性能 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物姿态简化 办理工艺技术步奏 自主创新选用"梯级膜分離+电去铝离子"组合名字方法： 微滤预治理 ：1μm淘瓷膜屏蔽广告大粒状硅，通量保证80LMH 亚铁离子互相交换树脂材料 ：D201大孔硅橡胶记忆性过滤硅酸碳原子 二次元RO平台 ：最段收集率60%，二段运用高脱硼膜元器件封装 EDI电去正离子 ：感应电流高密度2A/m²，不断弄掉残余物阴离子 红外光谱除菌 ：254nm紫外光线极量40mJ/cm² 技艺特色 开放专业化阻硅剂（可挥发胺类软型物），推迟膜污染源时期3倍 EDI接口特色化流道结构设计，硅去掉率加强至99.8% 在线上硅研究检测仪（侧量依据0.1-500μg/L）做到精准度把控 启动初步成效 经第三个方查测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降低0.3μg/L 体系收购率从原40%提升自己至68% 膜换新时间段提高至5年，年电脑运行料工费调低35%