该典型案例根据华中省市的大形半导体行业创造制造业各个企业,关键加工销售ibms电源线路集成块。在加工销售具体步骤中,晶圆难以清理、蚀刻等工艺程序需选择很大光电子级磷酸(纯净度≥85%),据此诞生高盐浓度含磷废水处里。制造业各个企业原先处里措施不可能达到不断要严格的排污原则(TP≤0.5mg/L),急求加剧处理。
废气的成分及起源
废污水具体种类于三大方面:晶圆擦洗废污水(占总用水量60%)、机清洗废污水(30%)与地面上清洗废污水(10%)。水的硬度基本特征展示为:pH值1.5-2.5,总磷盐浓度800-1200mg/L,氟铝离子成分50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含带轻微血本属(铜、锌等)。
处里工艺技术流程图
新项目用到"预净化处理+无机化学沉积+初中级氧化的+纵深过滤器"的女子组合工艺技术:
设定池
:匀衡饮用水水流量,配有pH同屏在线评估控制系统
两级反應池
:添加石灰粉乳可以调节pH至8.5-9.0,造成Ca3(PO4)2乳浊液
二级考试现象池
:加PAC和PAM强化木纹地板二沉池目的
斜板沉淀物中池
:满足固液分離,污泥处理走进脱水器系统性
Fenton脱色模块
:H2O2与Fe²⁺携手做用挥发生物碳物
多导电介质过滤水器
:熔融石英砂+抗逆性炭团体筛选,确保安全生产有水出清亮
化合物交換模式
:进这一步删去稳定度复合铝离子
结果英文成果
软件电脑程序运行不稳后,满水后水环境:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,每项条件强于《电子器材实业水的废弃物减排条件》(GB 39731-2020)。年减小磷减排约15吨,污泥干化诞生量较传统的工序降底40%,电脑程序运行成本投入管理在8.十元/吨水。