该晶圆开发厂座落西北区域，主要是生產的8寸大光电器件晶圆，每日污废水 尾气排缩量上涨约800吨。根据生產的进程中便用许多盐酸做出晶圆蚀刻，导致污废水 中氟化物质量浓度达到了200-300mg/L，远超地方尾气尾气排放原则（10mg/L接下来）。 废污水基本成分及来原 生活污水主要是来这三个的环节： 晶圆蚀刻工步 ：含高有机废气浓度氟化物（HF）、盐酸及一少部分天价属 检查是否机戒打磨抛光（CMP）废水处理 ：含纳米级级硅颗粒剂、有机的络合剂 机的洗涤废水处理 ：含异丙醇、氯离子等有机的物 治理 工艺技术方法 所采用"耐腐蚀析出+混疑析出+深浅筛选"两级处置平台： 考试内容一级整理 ：加药氯化钙和氢氧化反应钙，养成氟化钙水解，氟化物弄掉率达85% 二级考试清理 ：“添加PAC（汇聚氯化铝）和PAM（pe塑料酰胺），洗去胶体溶液态严重排放物 三级视频工作 ：按照多媒质过虑器和亲水性炭活性炭吸附，冒水氟化物渗透压不稳在8mg/L一下 至关重要机械设备包含：pH智能上下调整模式、斜管沉积池、板框过滤机（生活污水脱水烘干）。 最中实际效果 活动正常运作一年监测技术数据报告出现： 氟化物人均密度：7.2mg/L（高出国度标准规定） COD洗去率：92% 飞灰含水分率：≤65% 年回收处理氟化钙副服务约150吨，确保影视资源化再生进行